プロセス
ポーティング

プロセスポーティング

プロセスポーティング｜お客様のプロセスをジャパンセミコンダーラインへ移植、量産製造を行います。

当社のプロセスポーティングは、お客様のプロセスをジャパンセミコンダーラインへ移植します。

プロセスフロー、断面構造図、プロセス条件、材料情報、マスク情報、ウエハ情報などのお客様提供情報をもとに、再現性と量産性を重視したプロセス移植を行います。

移植にあたっては、当社内で寸法、膜厚、構造(深さ/アングル)、濃度プロファイル、寸法精度、欠陥情報、QC管理方法といったプロセス開発項目を評価・検討・最適化します。

プロセスポーティング完了後、プロセス立上げデータ、PCMデータ、外観検査結果、ウエハを当社より提供し、当社ラインでの立上げ状況と品質を確認いただけます。